Langzeitstabilität der Innendrücke von Kavernen benachbarter MEMS-Sensoren auf Siliziumbasis

Due to a trend towards miniaturization of many MEMS devices and thus also the cavity volumes of inertial sensors, the influence of slight changes in the damping atmosphere in sensor cavities on the reliability of the sensors is increasing. In this work, mechanisms affecting the pressure stability of...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục

Tác giả chính:	Kopf, Marlene
Định dạng:	Online
Ngôn ngữ:	Tiếng Đức
Được phát hành:	KIT Scientific Publishing 2022
Những chủ đề:	MEMS-Sensor Drehratensensor Inertialsensor Dämpfung Q-Faktor MEMS sensor gyroscope inertial sensor damping atmosphere Q factor thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TG Mechanical engineering and materials
Truy cập trực tuyến:	ONIX_20220404_9783731511212_6
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!