Energieeffiziente Auswerteelektronik für kapazitive mikromechanische Drehratensensoren

Der Bedarf an mikromechanischen Inertialsensoren zur Messung von Drehgeschwindigkeiten und Beschleunigungen ist stark ansteigend. Die Technologie für mikroelektromechanische Systeme (MEMS) bietet hierbei den Vorteil einer hohen Packungsdichte. In dieser Arbeit werden Ansätze auf Systemebene zur Redu...

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Bibliografische gegevens

Hoofdauteur:	Oshinubi, Dayo
Formaat:	Online
Taal:	Duits
Gepubliceerd in:	KIT Scientific Publishing 2021
Onderwerpen:	T1-995 Mikromechanik Inertialsensor MEMS energieeffizient Gyro thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues
Online toegang:	34457
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