MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden...
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| Hovedforfatter: | |
|---|---|
| Format: | Online |
| Sprog: | tysk |
| Udgivet: |
KIT Scientific Publishing
2021
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| Fag: | |
| Online adgang: | 35452 |
| Tags: |
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