MyFEMOS, Mikro-Fertigungstechniken für hybride mikrooptische Sensoren
Im Rahmen des BMBF-Verbundprojekts MikroFEMOS wurde eine Fertigungs-Infrastruktur für einen mikrooptischen Abstandssensor entwickelt, die einen deutlichen Schritt nach vorn in Richtung ""Small Equipment for small Parts"" darstellt. Im vorliegenden Beitrag wird dieses System vorgestellt und es werden...
Bewaard in:
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| Formaat: | Online |
| Taal: | Duits |
| Gepubliceerd in: |
KIT Scientific Publishing
2021
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| Onderwerpen: | |
| Online toegang: | 35452 |
| Tags: |
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