Fracture Toughness of Freestanding Metallic Thin Films Studied by Bulge Testing

Metallic thin films are nowadays frequently used as key components in microelectronic and microelectromechanical systems, so that the functionalities of these systems often depend on the structural integrity of the incorporated thin films. As a result, the fracture toughness of thin films becomes a...

תיאור מלא

שמור ב:
מידע ביבליוגרפי
מחבר ראשי: Preiß, Eva
פורמט: Online
שפה:אנגלית
יצא לאור: FAU University Press 2025
נושאים:
גישה מקוונת:ONIX_20250828T094736_9783961471188_21
תגים: הוספת תג
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!

פריטים דומים: Fracture Toughness of Freestanding Metallic Thin Films Studied by Bulge Testing