Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren

Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasiert...

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Bibliographic Details

Main Author:	Schüle, Sven
Format:	Online
Language:	German
Published:	KIT Scientific Publishing 2021
Subjects:	T1-995 Mikrosystemtechnik Interferometer LIGA-Mikrosysteme Mikroaktorik modulare Mikrosysteme thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues
Online Access:	34493
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