Entwicklung von Kunststoff-Mikroventilen im Batch-Verfahren

Ziel der vorliegenden Arbeit ist es, die Integration von Materialien in Mikrosysteme zu ermöglichen, welche sich nicht für monolitische Herstellungs- und Integrationsverfahren eignen. Eine aufwändige und somit meist kostspielige Pick-and-Place Montage wird dabei hinsichtlich der wirtschaftlichen Eig...

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Bibliographic Details

Main Author:	Grund, Thomas
Format:	Online
Language:	German
Published:	KIT Scientific Publishing 2021
Subjects:	T1-995 Serienfertigung Mikrosystemtechnik Formgedächtnislegierung Ventil Aktorik thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues
Online Access:	34778
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