Versetzungen und inverse Pyramidendefekte in AlGaN/GaN-HEMT-Strukturen auf Si und deren Einfluss auf Material- und Bauelementeigenschaften
Das Materialsystem GaN auf Si verspricht die Verknüpfung der Vorteile eines Wide Bandgap Halbleiters mit den niedrigen Herstellungskosten von Si. So können High Electron Mobility Transistoren zum Beispiel auf Basis einer AlGaN/GaN-Heterostruktur als Ausgangspunkt kosteneffektiver und zugleich sehr e...
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| Autor principal: | |
|---|---|
| Formato: | Online |
| Idioma: | alemão |
| Publicado em: |
FAU University Press
2025
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| Assuntos: | |
| Acesso em linha: | ONIX_20250828T094736_9783961475452_8 |
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