Versetzungen und inverse Pyramidendefekte in AlGaN/GaN-HEMT-Strukturen auf Si und deren Einfluss auf Material- und Bauelementeigenschaften

Das Materialsystem GaN auf Si verspricht die Verknüpfung der Vorteile eines Wide Bandgap Halbleiters mit den niedrigen Herstellungskosten von Si. So können High Electron Mobility Transistoren zum Beispiel auf Basis einer AlGaN/GaN-Heterostruktur als Ausgangspunkt kosteneffektiver und zugleich sehr e...

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Dades bibliogràfiques
Autor principal: Besendörfer, Sven
Format: Online
Idioma:alemany
Publicat: FAU University Press 2025
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Accés en línia:ONIX_20250828T094736_9783961475452_8
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