Herstellung dünner metallischer Brücken durch Elektromigration und Charakterisierung mit Rastersondentechniken
In der vorliegenden Arbeit werden metallische Kontakte durch Elektronenstrahllithografie oder Bedampfen durch eine Maske sowie kontrollierte Elektromigration im Ultrahochvakuum hergestellt und mittels Rastersondentechniken charakterisiert. Aus den Rastersondenbildern lassen sich in Verbindung mit de...
שמור ב:
| מחבר ראשי: | |
|---|---|
| פורמט: | Online |
| שפה: | גרמנית |
| יצא לאור: |
KIT Scientific Publishing
2021
|
| נושאים: | |
| גישה מקוונת: | 35027 |
| תגים: |
אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!
|
היה/י הראשונ/ה לכתוב הערה!