Chemische und elektrochemische Methoden zur Oberflächenbearbeitung von galvanogeformten Nickel-Mikrostrukturen

Im Rahmen dieser Arbeit wurden drei verschiedene (elektro-) chemische Verfahren sowie die Verfahrenskombination Läppen und Elektropolieren zur Oberflächenbearbeitung von LIGA-Nickel-Mikrostrukturen in Hinblick auf die Verringerung der Rauheiten und die Reduzierung der Schichtdickeninhomogenität unte...

Szczegółowa specyfikacja

Opis bibliograficzny

1. autor:	Kißling, Stephanie
Format:	Online
Język:	niemiecki
Wydane:	KIT Scientific Publishing 2021
Hasła przedmiotowe:	T1-995 Chemisch-mechanisches Planarisieren (CMP) Elektropolieren Plasmapolieren Rauheitsmessung Mikrogalvanoformung thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues
Dostęp online:	35227
Etykiety:	Dodaj etykietę Nie ma etykietki, Dołącz pierwszą etykiete!