Untersuchungen zur rasterkraft- und konfokalmikroskopischen Charakterisierung nanometrologischer Referenzkörper

Hochgenaue Fertigungstechnologien stellen die dimensionelle Messtechnik vor enorme Herausforderungen. In Ermangelung geeigneter Sensorsysteme sind Messungen an komplexen Geometrien mit einem Höchstwert der Messunsicherheit im Nanometerbereich ein größtenteils immer noch ungelöstes Problem. Hauptursä...

תיאור מלא

מידע ביבליוגרפי

מחבר ראשי:	Schaude, Janik
פורמט:	Online
שפה:	גרמנית
יצא לאור:	FAU University Press 2025
נושאים:	Messtechnik Konfokalmikroskopie Rasterkraftmikroskopie Metrologie thema EDItEUR::T Technology, Engineering, Agriculture, Industrial processes::TB Technology: general issues::TBM Instruments and instrumentation::TBMM Engineering measurement and calibration
גישה מקוונת:	ONIX_20251120T103930_9783961477777_47
תגים:	הוספת תג אין תגיות, היה/י הראשונ/ה לתייג את הרשומה!